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Hitachi

ID MODEL DESCRIPTION
421031 EPL-8541HK8R Hitachi EPL-8541HK8R Hitachi EPL-8541HK8R
421032 MI-SCOPE Hitachi MI-SCOPE Hitachi MI-SCOPE
421033 N/A Hitachi N/A Hitachi N/A
421034 V523 50MHZ Hitachi V523 50MHZ Hitachi V523 50MHZ
421035 VP-1500 Hitachi VP-1500 Hitachi VP-1500
130103 S-7000 CD SEM Measurement Tool CD SEM Measurement Tool
132296 BOND HOT PLATE Bonder Bonder
132297 IS2700SE E beam inspection E beam inspection
132298 IS3000E E beam inspection E beam inspection
132299 IS3000E E beam inspection E beam inspection
132300 IS3000E E beam inspection E beam inspection
132301 IS E beam inspection E beam inspection
132302 FB-2100 Focused Ion Beam system Focused Ion Beam system
132303 S-2700 CD SEM CD SEM
132304 S-4160 FE SEM FE SEM
132305 S-5000 FE SEM FE SEM
132306 S-5000 FE SEM FE SEM
132307 S-5000 FE SEM FE SEM
132308 S-5000 FE SEM FE SEM
132309 S-5000 FE SEM FE SEM
132310 S-5000 FE SEM FE SEM
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132312 I-6300 CD SEM CD SEM
132313 S-7000 CD SEM CD SEM
132314 S-7000 CD SEM CD SEM
132315 S-7800 CD SEM CD SEM
132316 S-7800HSA CD SEM CD SEM
132317 S-7800HSA CD SEM CD SEM
132318 S-8820 CD SEM CD SEM
132319 S-8820 CD SEM CD SEM
132320 S-8820 CD SEM CD SEM
132321 S-8820 CD SEM CD SEM
132322 S-8820 CD SEM CD SEM
132323 S-9200 CD SEM CD SEM
132324 S-9220 CD SEM CD SEM
132325 S-9220 CD SEM CD SEM
132326 S-9260A CD SEM CD SEM
132327 S-9360 ( modified as S-9380 ) CD SEM CD SEM
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502025 8840 SEM SEM
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502093 8820 METROLOGY METROLOGY
501017 Hitachi 8820 CD Sem CD Sem
501046 RSEM-L01 Defect inspection Defect inspection